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在CVD专用氢气发生器进行升级时注意事项

发布来源:上海祗美电子科技有限公司  发布日期: 2021-10-13  访问量:9

在CVD专用氢气发生器进行升级时注意事项

1、系统保护

升级后,原有的保护还是必须存在的,就是压力保护,当在线干燥塔与系统压力差大于标准时,是不会切换的,干燥系统会反复冲压,使在线干燥塔的压力值与系统压力值无限接近,起码小于标准。

2、切换方向性

原用切换装置在外面是看不到具体的切换方向,只能通过触摸屏上的显示画面才能判断哪个干燥塔在线,哪个干燥塔再生。升级后,调节控制器外有指向坐标,可以直接判定在线干燥塔和再生干燥塔,但需要安装时,初始位置的设定必须调节器和四通阀开通方向一致。

3、开机时,先用原料氢置换系统,从阀放空,待系统内的高纯氮置换干净后,根据用户的原料氢内的含氢量和所需高纯氢量,来选定操作温度、操作压力和驰放气量,然后再通电加热钯管,从阀流出高纯氢。

4、切换用时

原用马达切换是瞬时切换,动作快,升级后调节器切换一次的动作用时是标准,比原马达用时要长,但切换平稳,系统压力不会产生过大的波动。升级后程序中电磁阀开启的时间要进行重新设定,否则会在切换过程中开启一次,随有压力保护会瞬间关闭,但是也容易使系统出口压力产生下降,易造成下级设备(压缩机)跳机。

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关键词:  微生物限度仪  薄膜蒸发器  集菌仪  氮气发生器  分子蒸馏仪

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